硅是带来人类文明的重要元素之一，从传统材料到信息材料的发展过程中创造了一个又一个奇迹。

\(\rm{(1)}\)新型陶瓷\(\rm{Si_{3}N_{4}}\)的熔点高、硬度大、化学性质稳定。工业上可以采用化学气相沉积法，在\(\rm{H}\)\(\rm{{\,\!}_{2}}\)的保护下，使\(\rm{SiCl}\)\(\rm{{\,\!}_{4}}\)与\(\rm{N}\)\(\rm{{\,\!}_{2}}\)反应生成的\(\rm{Si}\)\(\rm{{\,\!}_{3}}\)\(\rm{N}\)\(\rm{{\,\!}_{4}}\)沉积在石墨表面，写出该反应的化学方程式：___________________________________________________________________。

\(\rm{(2)}\)工业上可以通过如图所示的流程制取纯硅：

\(\rm{①}\)整个制备过程必须严格控制无水无氧。\(\rm{SiHCl_{3}}\)遇水剧烈反应生成\(\rm{H_{2}SiO_{3}}\)、\(\rm{HCl}\)和另一种物质，写出该反应的化学方程式：___________________。

\(\rm{②}\)假设每一轮次制备\(\rm{1 mol}\)纯硅，且生产过程中硅元素没有损失，反应Ⅰ中\(\rm{HCl}\)的利用率为\(\rm{90\%}\)，反应Ⅱ中\(\rm{H}\)\(\rm{{\,\!}_{2}}\)的利用率为\(\rm{93.75\%}\)。则在第二轮次的生产中，补充投入\(\rm{HCl}\)和\(\rm{H}\)\(\rm{{\,\!}_{2}}\)的物质的量之比是________。