5．
硅单质及其合物应用范围很广\(\rm{.}\)请回答下列问题：
\(\rm{(1)}\)制备硅半导体材料必须先得到高纯硅\(\rm{.}\)三氯甲硅烷\(\rm{(SiHCl_{3})}\)还原法是当前制备高纯硅的主要方法\(\rm{.}\)生产过程示意图如图：
\(\rm{①}\)写出由纯\(\rm{SiHCl_{3}}\)，制备高纯硅的化学反应方程式：______ ．
\(\rm{②}\)整个制备过程必须严格控制无水无氧\(\rm{.SiHCl_{3}}\)遇水剧烈反应生成\(\rm{H_{2}SiO_{3}}\)，\(\rm{HCl}\)和另一种物质，写出配平的化学反应方程式： ______ ；\(\rm{H_{2}}\)还原\(\rm{SiHCl_{3}}\)过程过程中若混入\(\rm{O_{2}}\)，可能引起的后果是 ______ ．
\(\rm{(2)}\)石英砂的主要成分是二氧化硅，高纯度的二氧化硅可用于制造高性能通讯材料\(\rm{-}\)光导纤维\(\rm{.}\)二氧化硅和二氧化碳一样，也能与氢氧化钠溶液生成硅酸钠\(\rm{(}\)其水溶液称水玻璃\(\rm{)}\)和水\(\rm{.}\)请写出二氧化硅与氢氧化钠溶液的化学方程式： ______ ．