9.
已知数列\(\left\{{a}_{n}\right\} \)满足:\({a}_{1}∈{N}^{*} \),\({a}_{1}\leqslant 36 \),且\({a}_{n+1}=\begin{cases}2{a}_{n},{a}_{n}\leqslant 18 \\ 2{a}_{n}-36,{a}_{n} > 18\end{cases} \left(n=1,2,⋯\right) .\)记集合\(M=\left\{ \left.{a}_{n} \right|n∈{N}^{*}\right\} \).
\((1)\)若\({a}_{1}=6 \),写出集合\(M\)的所有元素;
\((2)\)若集合\(M\)存在一个元素是\(3\)的倍数,证明:\(M\)的所有元素都是\(3\)的倍数;
\((3)\)求集合\(M\)的元素个数的最大值.